超純水（UPW）
マイクロエレクトロニクス産業向け製品
エコラボの超純水用イオン交換樹脂は、ウェハやマイクロチップの製造を行うマイクロエレクトロニクス産業の厳格なニーズを満たすよう特別に製造されています。これらのニーズには、極めて高い水質（全有機炭素（TOC）1 ppb未満、比抵抗18.2 MΩ·cm以上、かつ最小限の洗浄時間）が求められると同時に、イオン交換樹脂の初期充填時における高純度回路への汚染を排除することも必要とされます。
マイクロエレクトロニクス産業において、新たなPFAS規制の導入が迫っています。ピュロライトは、PFASを除去し新たなガイドラインに適合させることで、水や大気排出物に含まれる汚染物質への対応を支援します。
すべてのUltraClean™ 樹脂は、製造後にイオン交換樹脂に残留する有機物を除去する処理が施されています。また、これらはH+型およびOH–型への高度な再生処理が行われています。
再生型サービス脱イオン（SDI）、ポータブル交換（PE）、またはカートリッジシステムにおいて、30～40 BV（樹脂床容積倍数）以下の洗浄でTOC値を10 ppb未満にする必要がある場合には、UltraClean UCW3900、UltraClean UCW3700、UltraClean UCW3600が推奨されます。
詳細の製品資料は、ピュロライトの営業担当者へお問い合わせ下さい。
ピュロライト樹脂製品の適用事例
| 用途 | プロセス | 適用事例 |
|---|---|---|
| ファイナルポリッシャー | 脱塩 | UCW9966 UCW9964 UCW3700 |
| アニオンポリッシャー | 脱塩 | UCW5072 |
| ホウ素吸着ポリッシャー | 脱塩 | UCW1080 |
| パックドベッド-アニオン | 脱塩 | PPA400 PPA500 PPA510 PPA847 PPA850 |
| パックドベッド-カチオン | 脱塩 | PPC100 PPC104 PPC150 |
| 1次系 | 脱塩 | C100 A400 |