Microelectronics Industry Products
超純水製造用イオン交換樹脂
製品一覧
ピュロライトの超純水製造用イオン交換樹脂は、最小限の前処理リンス量にて超純水に必要とされる比抵抗とTOCを得る事が可能です。
超純水製造用UltraClean™ 製品
水中の不純物を極限まで除去した超純水は、半導体製造や液晶製造などの電子産業、および医薬品製造用に使用されています。水中の金属類やイオン類を徹底的に除去するためにはイオン交換樹脂が不可欠で、超純水製造工程にはイオン交換樹脂による処理工程が必ず組み込まれます。
UltraCleanシリーズは、ピュロライト独自の樹脂洗浄技術により、初期溶出分および経時溶出分を極度に抑えた超純水用イオン交換樹脂です。
UltraClean UCWシリーズは、超純水用樹脂として下記の特徴を持ちます。
- 極めて低いTOC溶出分
- 初期溶出分が極めて低く、樹脂充填後使用開始時のリンス量が最小
- 極めて低い溶出金属濃度・微粒子放出量
- 非常に高い反応速度
- 製造後6カ月以上の保管安定性
- 安定した性能維持
- H/OH形への非常に高い変換率（再生率）
詳細の製品資料は、ピュロライトの営業担当者へお問い合わせ下さい。
UltraCleanシリーズ製品群の紹介
| 製品名 | 製品概要 |
|---|---|
| UltraClean UCW9966 | ファイナルポリッシャー用混床樹脂 δTOC：1ppb以下、不分離タイプ |
| UltraClean UCW9964 | ファイナルポリッシャー用混床樹脂 δTOC：1ppb以下、分離可能タイプ |
| UltraClean UCW9126 | ファイナルポリッシャー用 強酸性カチオン交換樹脂 均一粒径ゲルタイプ、UltraClean UCW9964の構成樹脂 |
| UltraClean UCW5072 | ファイナルポリッシャー用 強塩基性アニオン交換樹脂 均一粒径ゲルタイプ、UltraClean UCW9964の構成樹脂 |
| UltraClean UCW3700 | 高純度水製造用 混床樹脂 カチオン・アニオン化学当量比 1:1 |
| UltraClean UCW1080 | 高純度水製造用 ホウ素除去用キレート樹脂 |
UltraClean UCW9966
UltraClean UCW 9966は、超純水ファイナルポリッシャーに適した混床樹脂です。不分離タイプに調整しているため、樹脂塔への充填時・移送時に生じるアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の分離が極めて少なく、充填初期から安定した比抵抗が得られます。
UltraClean UCW 9966は、ゲル型・スチレン系の強酸性カチオン交換樹脂とゲル型・スチレン系の強塩基性アニオン交換樹脂（Ⅰ型）を、化学的当量比率1:1にて混合処理した製品です。カチオン交換樹脂のH形への変換率は99.9%以上、アニオン交換樹脂のOH形への変換率は95%以上が得られ、非常に高い再生率に調整・処理されています。アニオン交換樹脂の塩化物イオンはイオン形比率0.1%以下で処理されています。
UltraClean UCW 9966は、樹脂塔充填後の初期リンス時における比抵抗の立ち上がりが早く、また初期TOC溶出が低く、デルタTOCが1ppb以下に達するまでの通液量・通液時間を最小限におさえることが可能です。
UltraClean UCW9966の一般物性値
| 樹脂 | 強酸性カチオン交換樹脂 ゲル型 | 強塩基性アニオン交換樹脂 （Ⅰ型）・ゲル型 |
|---|---|---|
| イオン形 | H+ | OH– |
| 総交換容量 | 1.9eq/L以上（H形） | 1.0eq/L以上（OH形） |
| 再生率（H+形・OH–形） | 99.9%以上 | 95%以上 (Cl形<0.1%) |
| 水分含有率 | 49-54%（H形） | 55-60% (Cl形) |
| 混合比率 | 1 : 1（化学的当量比） | |
| 耐用温度 | 60℃以下 | |
| 見掛密度（概算値） | 670 – 710 g/l | |
| 初期リンス特性※） | ||
| 比抵抗 | 18MΩ･cm以上（SV30・2BVまで） | |
| ⊿TOC | 1ppb以下（SV30・100BVまで） | |
※）リンス水：TOC 2ppb以下、比抵抗17.5MΩcm以上
UltraClean UCW3700
化学的当量比率1:1にて混合処理済みされた製品です。
カチオン交換樹脂のH形への再生率は99.9%以上、アニオン交換樹脂のOH形への再生率は95%以上と非常に高い再生率にて処理されている超純水製造用のイオン交換樹脂です。
UCW3700は、液晶工場などの超純水製造工程の超純水系ポリッシャー用混床塔の使用に適します。本製品は、強酸性カチオン交換樹脂UCW9126と強塩基性アニオン交換樹脂PFA400OHSCの混合品です。
UltraClean UCW3700の一般物性値
| 樹脂 | 強酸性カチオン交換樹脂 ゲル型 | 強塩基性アニオン交換樹脂 （Ⅰ型）・ゲル型 |
|---|---|---|
| イオン形 | H+ | OH– |
| 総交換容量 | 1.9eq/L以上（H形） | 1.0eq/L以上（OH形） |
| 再生率（H+形・OH–形） | 99.9%以上 | 95%以上 (Cl形<0.1%) |
| 水分含有率 | 49-54%（H形） | 60-70% (Cl形) |
| 混合比率 | 1 : 1（化学的当量比） | |
| 耐用温度 | 60℃以下 | |
| 見掛密度（概算値） | 685 – 725 g/l | |
| 初期リンス特性※） | ||
| 比抵抗 | 18MΩ･cm以上（SV30・15BVまで） | |
| ⊿TOC | 10ppb以下（SV30・40BVまで） | |
※）リンス水：TOC 2ppb以下、比抵抗17.5MΩcm以上