【課題解決】超純水製造に使用するイオン交換樹脂から溶出する超微量金属の評価方法

超純水の製造に欠かせないイオン交換樹脂 金属・イオンなどの不純物を徹底的に排除した超純水は、半導体などの製造工程で欠かせないものであり、超純水の製造にはイオン交換樹脂が必要不可欠です。 実際の超純水製造装置の最終工程（ポ […]