超純水製造用樹脂 Purolite® UltraClean™ シリーズ
水中の不純物を極限まで除去した超純水は、半導体製造や液晶製造などの電子産業、および医薬品製造用に使用されています。
水中の金属類やイオン類を徹底的に除去するためにはイオン交換樹脂が不可欠で、超純水製造工程にはイオン交換樹脂による処理工程が必ず組み込まれます。
Purolite® UltraClean™ シリーズは、ピュロライト社独自の樹脂洗浄技術により、初期溶出分および経時溶出分を極度に抑えた超純水用イオン交換樹脂です。
Purolite® UltraClean™ シリーズは、カラムリンス試験により、水中の不純物（金属・イオン類）を「ppt (=ng/L)レベル」まで低減しながらTOCの初期溶出も低いレベルに抑えられる、優れた性能を発揮するイオン交換樹脂であることを確認しました。
金属類（単位はppt = ng/L）
| 項目 | UltraClean™ UCW9966 | UltraClean™ UCW3700 |
|---|---|---|
| B | <5 | <5 |
| Na | <0.5 | <0.5 |
| Mg | <0.5 | <0.5 |
| Al | <0.5 | <0.5 |
| Si | <70 | <70 |
| K | <2 | <2 |
| Ca | <2 | <2 |
| Ti | <2 | <2 |
| V | <1 | <1 |
| Cr | <1 | <1 |
| Mn | <0.5 | <0.5 |
| Fe | <0.5 | <0.5 |
| Co | <1 | <1 |
| Ni | <1 | <1 |
| Cu | <0.5 | <0.5 |
| Zn | <2 | <2 |
| Ag | <0.5 | <0.5 |
| Cd | <0.5 | <0.5 |
| Au | <0.2 | <0.2 |
| Pb | <0.1 | <0.1 |
イオン類（単位はppt = ng/L）
| 項目 | UltraClean™ UCW9966 | UltraClean™ UCW3700 |
|---|---|---|
| Cl | <0.05 | <0.05 |
| NO2 | <0.05 | <0.05 |
| NO3 | <0.1 | <0.1 |
| PO4 | <0.2 | <0.2 |
| SO4 | <0.2 | <0.2 |
| NH4 | <0.1 | <0.1 |
UltraClean™ UCW9966 は、市場における最も高性能の他社品と比較して、樹脂塔充填後の初期リンス時における比抵抗の立ち上がりが早いという特長を有しています。
また初期溶出TOCレベルが低いため、より少ない通液量でデルタTOCが1ppb以下に達します。
Purolite® UltraClean™ シリーズ製品群の紹介
| 製品名 | 製品概要 |
|---|---|
| UltraClean™ UCW9966 | 高純度超純水精製用 混床樹脂 δTOC：1ppb以下、不分離タイプ |
| UltraClean™ UCW9964 | 高純度超純水精製用 混床樹脂 δTOC：1ppb以下、分離可能タイプ |
| UltraClean™ UCW9126 | 高純度超純水精製用 強酸性カチオン交換樹脂 均一粒径ゲルタイプ |
| UltraClean™ UCW5072 | 高純度超純水精製用 強塩基性アニオン交換樹脂 均一粒径ゲルタイプ |
| UltraClean™ UCW3900 | 高純度水製造用 混床樹脂 強酸性カチオン交換容量が高い |
| UltraClean™ UCW3700 | 高純度水製造用 混床樹脂 カチオン・アニオン化学当量比 1：1 |
| UltraClean™ UCW3600 | 高純度水製造用 混床樹脂 強塩基性アニオン交換容量が高い |
| UltraClean™ UCW1080 | 高純度水製造用 ホウ素除去用キレート樹脂 |
Purolite® UltraClean™ UCW9966
超純水ファイナルポリッシャーに適した混床樹脂です。不分離タイプに調整しているため、樹脂塔への充填時・移送時に生じるアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の分離が極めて少なく、充填初期から安定した比抵抗が得られます。
UltraClean™ UCW9966 は、ゲル型・スチレン系の強酸性カチオン交換樹脂とゲル型・スチレン系の強塩基性アニオン交換樹脂（Ⅰ型）を、化学的当量比率1：1にて混合処理した製品 です。カチオン交換樹脂のH形への変換率は99.9%以上、アニオン交換樹脂のOH形への変換率は95%以上が得られ、非常に高い再生率に調整・処理され ています。アニオン交換樹脂の塩化物イオンはイオン形比率0.1%以下で処理されています。
UltraClean™ UCW9966 は、樹脂塔充填後の初期リンス時における比抵抗の立ち上がりが早く、また初期TOC溶出が低く、デルタTOCが1ppb以下に達するまでの通液量・通液時間を最小限におさえることが可能です。
UltraClean™ UCW9966 の一般物性値
| 樹脂 | 強酸性カチオン交換樹脂 | 強塩基性アニオン交換樹脂（Ⅰ型） |
|---|---|---|
| イオン形 | H+ | OH– |
| 総交換容量 | 1.9eq/L以上（H形） | 1.0eq/L以上（OH形） |
| 再生率（H+形・OH–形） | 99.9%以上 | 95%以上 (Cl形<0.1%) |
| 水分含有率 | 49 – 54%（H形） | 62 – 72% (OH形) |
| 混合比率 | 1 : 1（化学的当量比） | |
| 耐用温度 | 60°C | |
| 見掛密度（概算値） | 670 – 690 g/l | |
| 初期リンス特性※） | ||
| 比抵抗 | 18.2MΩ･cm以上（SV30・15BVリンス後） | |
| ⊿TOC | 1ppb以下（SV30・100BVリンス後） | |
Purolite® UltraClean™ UCW3700
ゲル型・スチレン系の強酸性カチオン交換樹脂とゲル型・スチレン系の強塩基性アニオン交換樹脂（Ⅰ型）を化学的当量比率１：１にて混合処理済みされた製品です。
カチオン交換樹脂のH形への再生率は99.9%以上、アニオン交換樹脂のOH形への再生率は95%以上と非常に高い再生率にて処理されている超純水製造用のイオン交換樹脂です。UltraClean™ UCW3700 は、液晶工場などの超純水製造工程の超純水系ポリッシャー用混床塔の使用に適します。
UltraClean™ UCW3700 の一般物性値
| 樹脂 | 強酸性カチオン交換樹脂 | 強塩基性アニオン交換樹脂（Ⅰ型） |
|---|---|---|
| イオン形 | H+ | OH– |
| 総交換容量 | 1.8eq/L以上（H形） | 1.0eq/L以上（OH形） |
| 再生率（H+形・OH–形） | 99.9%以上 | 95%以上 (Cl形<0.1%) |
| 水分含有率 | 49 – 54%（H形） | 60 – 70% (OH形) |
| 混合比率 | 1 : 1（化学的当量比） | |
| 耐用温度 | 60°C | |
| 見掛密度（概算値） | 685 – 725 g/l | |
| 初期リンス特性※） | ||
| 比抵抗 | 18.0MΩ･cm以上（SV30・15BVリンス後） | |
| ⊿TOC | 10ppb以下（SV30・40BVリンス後） | |
