超純水(UPW)

ピュロライト社の超純水製造用イオン交換樹脂は、最小限の前処理リンス量にて超純水に必要とされる比抵抗とTOCを得る事が可能です。

超純水用グレードは、専用製造設備にて生産され半導体や液晶などの生産に不可欠な超純水の規格に合致します。

UltraClean™ UCWシリーズは、超純水用樹脂として下記の特徴を持ちます。

  • 極めて低いTOC溶出分
  • 初期溶出分が極めて低く、樹脂充填後使用開始時のリンス量が最小
  • 極めて低い溶出金属濃度・微粒子放出量
  • 非常に高い反応速度
  • 製造後6カ月以上の保管安定性
  • 安定した性能維持
  • H/OH形への非常に高い変換率(再生率)

詳細の製品資料は、ピュロライト株式会社の営業担当者へお問い合わせ下さい。

 

ピュロライト樹脂製品の適用事例

用途 プロセス 適用事例
ファイナルポリッシャー 脱塩 UCW9966 UCW9964 UCW3700
アニオンポリッシャー 脱塩 UCW5072
ホウ素吸着ポリッシャー 脱塩 UCW1080
パックドベッド-アニオン 脱塩 PPA400 PPA500 PPA510 PPA847 PPA850
パックドベッド-カチオン 脱塩 PPC100 PPC104 PPC150
1次系 脱塩 C100 A400