超純水製造用イオン交換樹脂

水中の不純物を極限まで除去した超純水は、半導体製造や液晶製造などの電子産業、および医薬品製造用に使用されています。水中の金属類やイオン類を徹底的に除去するためにはイオン交換樹脂が不可欠で、超純水製造工程にはイオン交換樹脂による処理工程が必ず組み込まれます。

UltraClean™シリーズは、ピュロライト社独自の樹脂洗浄技術により、初期溶出分および経時溶出分を極度に抑えた超純水用イオン交換樹脂です。

 

UltraClean™シリーズ製品群の紹介

製品名 製品概要
UltraClean™ UCW9966 ファイナルポリッシャー用混床樹脂
δTOC:1ppb以下、不分離タイプ
UltraClean™ UCW9964 ファイナルポリッシャー用混床樹脂
δTOC:1ppb以下、分離可能タイプ
UltraClean™ UCW9126 ファイナルポリッシャー用 強酸性カチオン交換樹脂
均一粒径ゲルタイプ、UltraClean™ UCW9964の構成樹脂
UltraClean™ UCW5072 ファイナルポリッシャー用 強塩基性アニオン交換樹脂
均一粒径ゲルタイプ、UltraClean™ UCW9964の構成樹脂
UltraClean™ UCW3700 高純度水製造用 混床樹脂
カチオン・アニオン化学当量比 1:1
UltraClean™ UCW3600 高純度水製造用 混床樹脂
強塩基性アニオン交換容量が高い
UltraClean™ UCW3900 高純度水製造用 混床樹脂
強酸性カチオン交換容量が高い
UltraClean™ UCW1080 高純度水製造用 ホウ素除去用キレート樹脂

 

UltraClean™ UCW9966

UltraClean™ UCW 9966は、超純水ファイナルポリッシャーに適した混床樹脂です。不分離タイプに調整しているため、樹脂塔への充填時・移送時に生じるアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の分離が極めて少なく、充填初期から安定した比抵抗が得られます。

UltraClean™ UCW 9966は、ゲル型・スチレン系の強酸性カチオン交換樹脂とゲル型・スチレン系の強塩基性アニオン交換樹脂(Ⅰ型)を、化学的当量比率1:1にて混合処理した製品です。カチオン交換樹脂のH形への変換率は99.9%以上、アニオン交換樹脂のOH形への変換率は95%以上が得られ、非常に高い再生率に調整・処理されています。アニオン交換樹脂の塩化物イオンはイオン形比率0.1%以下で処理されています。

UltraClean™ UCW 9966は、樹脂塔充填後の初期リンス時における比抵抗の立ち上がりが早く、また初期TOC溶出が低く、デルタTOCが1ppb以下に達するまでの通液量・通液時間を最小限におさえることが可能です。

UltraClean™ UCW9966の一般物性値

樹脂 強酸性カチオン交換樹脂
ゲル型
強塩基性アニオン交換樹脂
(Ⅰ型)・ゲル型
イオン形 H+ OH
総交換容量 1.9eq/L以上(H形) 1.0eq/L以上(OH形)
再生率(H+形・OH形) 99.9%以上 95%以上 (Cl形<0.1%)
水分含有率 49-54%(H形) 55-60% (Cl形)
混合比率 1 : 1(化学的当量比)
耐用温度 60℃以下
見掛密度(概算値) 670 – 710 g/l
初期リンス特性
比抵抗 18MΩ・cm以上(SV30・2BVまで)
⊿TOC 1ppb以下(SV30・100BVまで)

※)リンス水:TOC 2ppb以下、比抵抗17.5MΩcm以上

 

UltraClean™ UCW3700

ゲル型・スチレン系の強酸性カチオン交換樹脂とゲル型・スチレン系の強塩基性アニオン交換樹脂(Ⅰ型)を化学的当量比率1:1にて混合処理済みされた製品です。

カチオン交換樹脂のH形への再生率は99.9%以上、アニオン交換樹脂のOH形への再生率は95%以上と非常に高い再生率にて処理されている超純水製造用のイオン交換樹脂です。

UCW3700は、液晶工場などの超純水製造工程の超純水系ポリッシャー用混床塔の使用に適します。本製品は、強酸性カチオン交換樹脂UCW9126と強塩基性アニオン交換樹脂PFA400OHSCの混合品です。

UltraClean™ UCW3700の一般物性値

樹脂 強酸性カチオン交換樹脂
ゲル型
強塩基性アニオン交換樹脂
(Ⅰ型)・ゲル型
イオン形 H+ OH
総交換容量 1.9eq/L以上(H形) 1.0eq/L以上(OH形)
再生率(H+形・OH形) 99.9%以上 95%以上 (Cl形<0.1%)
水分含有率 49-54%(H形) 60-70% (OH形)
混合比率 1 : 1(化学的当量比)
耐用温度 60℃以下
見掛密度(概算値) 685 – 725 g/l
初期リンス特性
比抵抗 18MΩ・cm以上(SV30・15BVまで)
⊿TOC 10ppb以下(SV30・40BVまで)

※)リンス水:TOC 2ppb以下、比抵抗17.5MΩcm以上